APA (7th ed.) Citation
Киреев В. Ю. & Столяров А. А. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы: Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. НБ СевКавГТУ.
Chicago Style (17th ed.) CitationКиреев В. Ю. and Столяров А. А. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы: Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. НБ СевКавГТУ.
MLA (8th ed.) CitationКиреев В. Ю. and Столяров А. А. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы: Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. НБ СевКавГТУ.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.