Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Приведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития....

Cur síos iomlán

Sábháilte in:

Sonraí bibleagrafaíochta
Príomhchruthaitheoirí:	Киреев В. Ю., Столяров А. А.
Formáid:	LEABHAR
Foilsithe / Cruthaithe:	НБ СевКавГТУ
Clibeanna:	Cuir clib leis Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!

Míreanna comhchosúla

Химическое осаждение из растворов
de réir: Вассерман И. М.

Рост алмаза и графита из газовой фазы
de réir: Дерягин Б. В., et al.

Получение покрытий. Методы физического и химического осаждения из газовой фазы учебное пособие
de réir: Чернышова О. В.
Foilsithe / Cruthaithe: (2023)

Получение и исследование свойств пластин поликристаллического алмаза, полученных методом химического осаждения из газовой фазы
de réir: Алтахов, А. С.
Foilsithe / Cruthaithe: (2018)

Получение и исследование свойств пластин поликристаллического алмаза, полученных методом химического осаждения из газовой фазы
de réir: Алтахов, А. С.
Foilsithe / Cruthaithe: (2018)

Ресурсо- и энергосберегающие технологии и аппаратурное оформление процессов, сопровождающихся выделением газовой фазы монография
de réir: Сафин, Р. Г.

Химическое оборудование из керамики
de réir: Бабич В. Ф., et al.

Гидрохимическое осаждение тонких пленок халькогенидов металлов практикум

Фазы внедрения
de réir: Андриевский Р. А., et al.

Основы микроэлектроники
de réir: Аваев Н. А., et al.

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
de réir: Васильев В. Ю.
Foilsithe / Cruthaithe: (2024)

Технологии субмикронных структур микроэлектроники

Основы микроэлектроники
de réir: Коваленко А. А., et al.

Основы микроэлектроники
de réir: Игумнов Д. В., et al.

Применение компьютерных технологий в производстве силикатных материалов учебное пособие
de réir: Киреев, Ю. Н.

Основы микроэлектроники
de réir: Ефимов И. Е.
Foilsithe / Cruthaithe: (2022)

Основы микроэлектроники
Foilsithe / Cruthaithe: (2021)

Основы микроэлектроники
de réir: Степаненко И. П.

Основы микроэлектроники
de réir: Степаненко И. П.

Основы микроэлектроники
de réir: Ефимов И. Е., et al.

Основы микроэлектроники
de réir: Степаненко И. П.

Физические основы микроэлектроники
de réir: Марголин В. И., et al.

Основы полупроводниковой микроэлектроники
de réir: Левин С., et al.

Химическое сопротивление железобетона
de réir: Селяев В. П.
Foilsithe / Cruthaithe: (2020)

Физические основы микроэлектроники
de réir: Стукалова А. С.
Foilsithe / Cruthaithe: (2019)

Основы технологии материалов микроэлектроники Учебно-методическая литература
de réir: Каменская А.В

Основы технологии материалов микроэлектроники учебно-методическое пособие
de réir: Каменская, А. В.

Основы микроэлектроники и микропроцессорной техники
de réir: Смирнов Ю. А.
Foilsithe / Cruthaithe: (2022)

Физические основы конструирования, технологии РЭА и микроэлектроники
de réir: Штернов А. А.

Плазмохимическое осаждение аморфных гидрогенизированных пленок α-С:N:H и их анализ
de réir: Волков, Д. В.
Foilsithe / Cruthaithe: (2018)

Плазмохимическое осаждение аморфных гидрогенизированных пленок α-С:N:H и их анализ
de réir: Волков, Д. В.
Foilsithe / Cruthaithe: (2018)

Основы микроэлектроники практикум

Физические основы микроэлектроники
de réir: Епифанов Г. И.

Химическое сопротивление строительных материалов
de réir: Соломатов В. И., et al.

Основы микроэлектроники и микропроцессорной техники
de réir: Смирнов Ю. А., et al.

Физические основы микроэлектроники учебник
de réir: Клюбин, В. В.

Химическое строение и физические свойства полимеров
de réir: Аскадский А. А., et al.

Наука о развитии
de réir: Столяров В.

Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники
de réir: Старосельский В. И.

Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники
de réir: Старосельский В. И.