Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Приведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития....
में बचाया:
मुख्य लेखकों: | Киреев В. Ю., Столяров А. А. |
---|---|
स्वरूप: | पुस्तक |
प्रकाशित: |
НБ СевКавГТУ
|
टैग : |
टैग जोड़ें
कोई टैग नहीं, इस रिकॉर्ड को टैग करने वाले पहले व्यक्ति बनें!
|
समान संसाधन
-
Химическое осаждение из растворов
द्वारा: Вассерман И. М. -
Рост алмаза и графита из газовой фазы
द्वारा: Дерягин Б. В., और अन्य -
Получение покрытий. Методы физического и химического осаждения из газовой фазы учебное пособие
द्वारा: Чернышова О. В.
प्रकाशित: (2023) -
Получение и исследование свойств пластин поликристаллического алмаза, полученных методом химического осаждения из газовой фазы
द्वारा: Алтахов, А. С.
प्रकाशित: (2018) -
Получение и исследование свойств пластин поликристаллического алмаза, полученных методом химического осаждения из газовой фазы
द्वारा: Алтахов, А. С.
प्रकाशित: (2018)