Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Приведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития....

保存先:

書誌詳細
主要な著者:	Киреев В. Ю., Столяров А. А.
フォーマット:	図書
出版事項:	НБ СевКавГТУ
タグ:	タグ追加タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!

類似資料

Химическое осаждение из растворов
著者:: Вассерман И. М.

Рост алмаза и графита из газовой фазы
著者:: Дерягин Б. В., 等

Получение покрытий. Методы физического и химического осаждения из газовой фазы учебное пособие
著者:: Чернышова О. В.
出版事項: (2023)

Получение и исследование свойств пластин поликристаллического алмаза, полученных методом химического осаждения из газовой фазы
著者:: Алтахов, А. С.
出版事項: (2018)

Получение и исследование свойств пластин поликристаллического алмаза, полученных методом химического осаждения из газовой фазы
著者:: Алтахов, А. С.
出版事項: (2018)

Ресурсо- и энергосберегающие технологии и аппаратурное оформление процессов, сопровождающихся выделением газовой фазы монография
著者:: Сафин, Р. Г.

Химическое оборудование из керамики
著者:: Бабич В. Ф., 等

Гидрохимическое осаждение тонких пленок халькогенидов металлов практикум

Фазы внедрения
著者:: Андриевский Р. А., 等

Основы микроэлектроники
著者:: Аваев Н. А., 等

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
著者:: Васильев В. Ю.
出版事項: (2024)

Технологии субмикронных структур микроэлектроники

Основы микроэлектроники
著者:: Коваленко А. А., 等

Основы микроэлектроники
著者:: Игумнов Д. В., 等

Применение компьютерных технологий в производстве силикатных материалов учебное пособие
著者:: Киреев, Ю. Н.

Основы микроэлектроники
著者:: Ефимов И. Е.
出版事項: (2022)

Основы микроэлектроники
出版事項: (2021)

Основы микроэлектроники
著者:: Степаненко И. П.

Основы микроэлектроники
著者:: Степаненко И. П.

Основы микроэлектроники
著者:: Ефимов И. Е., 等

Основы микроэлектроники
著者:: Степаненко И. П.

Физические основы микроэлектроники
著者:: Марголин В. И., 等

Основы полупроводниковой микроэлектроники
著者:: Левин С., 等

Химическое сопротивление железобетона
著者:: Селяев В. П.
出版事項: (2020)

Физические основы микроэлектроники
著者:: Стукалова А. С.
出版事項: (2019)

Основы технологии материалов микроэлектроники Учебно-методическая литература
著者:: Каменская А.В

Основы технологии материалов микроэлектроники учебно-методическое пособие
著者:: Каменская, А. В.

Основы микроэлектроники и микропроцессорной техники
著者:: Смирнов Ю. А.
出版事項: (2022)

Физические основы конструирования, технологии РЭА и микроэлектроники
著者:: Штернов А. А.

Плазмохимическое осаждение аморфных гидрогенизированных пленок α-С:N:H и их анализ
著者:: Волков, Д. В.
出版事項: (2018)

Плазмохимическое осаждение аморфных гидрогенизированных пленок α-С:N:H и их анализ
著者:: Волков, Д. В.
出版事項: (2018)

Основы микроэлектроники практикум

Физические основы микроэлектроники
著者:: Епифанов Г. И.

Химическое сопротивление строительных материалов
著者:: Соломатов В. И., 等

Основы микроэлектроники и микропроцессорной техники
著者:: Смирнов Ю. А., 等

Физические основы микроэлектроники учебник
著者:: Клюбин, В. В.

Химическое строение и физические свойства полимеров
著者:: Аскадский А. А., 等

Наука о развитии
著者:: Столяров В.

Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники
著者:: Старосельский В. И.

Физика полупроводниковых приборов микроэлектроники
著者:: Старосельский В. И.