Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Приведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития....
Bewaard in:
| Hoofdauteurs: | , |
|---|---|
| Formaat: | Boek |
| Gepubliceerd in: |
НБ СевКавГТУ
|
| Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|
