Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Приведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития....
Na minha lista:
| Principais autores: | , |
|---|---|
| Formato: | Livro |
| Publicado em: |
НБ СевКавГТУ
|
| Tags: |
Adicionar Tag
Sem tags, seja o primeiro a adicionar uma tag!
|
