Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Приведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития....
Wedi'i Gadw mewn:
| Prif Awduron: | , |
|---|---|
| Fformat: | Llyfr |
| Cyhoeddwyd: |
НБ СевКавГТУ
|
| Tagiau: |
Ychwanegu Tag
Dim Tagiau, Byddwch y cyntaf i dagio'r cofnod hwn!
|