Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Приведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития....
Αποθηκεύτηκε σε:
| Κύριοι συγγραφείς: | , |
|---|---|
| Μορφή: | Βιβλίο |
| Έκδοση: |
НБ СевКавГТУ
|
| Ετικέτες: |
Προσθήκη ετικέτας
Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!
|