Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Приведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития....
Збережено в:
| Автори: | , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Опубліковано: |
НБ СевКавГТУ
|
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|