Химико-спектральный анализ веществ высокой чистоты
В монографии обсуждаются вопросы концентрирования микропримесей, а также послойного химико-спектрального анализа объектов микроэлектроники.
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Veröffentlicht: |
НБ СевКавГТУ
|
| Schlagworte: | |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|