Saltar al contenido

Химико-спектральный анализ веществ высокой чистоты

В монографии обсуждаются вопросы концентрирования микропримесей, а также послойного химико-спектрального анализа объектов микроэлектроники.

Guardado en:
Detalles Bibliográficos
Autores principales: Юделевич И. Г., Буянова Л. М., Шелпакова И. Р., Пещевицкий Б. И. (340)
Formato: Libro
Publicado: НБ СевКавГТУ
Materias:
Etiquetas: Agregar Etiqueta
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!