Химико-спектральный анализ веществ высокой чистоты
В монографии обсуждаются вопросы концентрирования микропримесей, а также послойного химико-спектрального анализа объектов микроэлектроники.
Enregistré dans:
| Auteurs principaux: | , , , |
|---|---|
| Format: | Livre |
| Publié: |
НБ СевКавГТУ
|
| Sujets: | |
| Tags: |
Ajouter un tag
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|