Химико-спектральный анализ веществ высокой чистоты
В монографии обсуждаются вопросы концентрирования микропримесей, а также послойного химико-спектрального анализа объектов микроэлектроники.
Сохранить в:
| Главные авторы: | , , , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Опубликовано: |
НБ СевКавГТУ
|
| Темы: | |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|