Нанотехнологии в микроэлектронике
В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных усройств новых поколений информационно-телекоммуникационных систем....
Saved in:
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
СКФУ
|
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|