Материаловедение ионно-модифицированных диэлектриков: физические основы взаимодействия ускоренных ионов с многокомпонентными материалами учебное пособие
Ионно-лучевое модифицирование диэлектриков (ионная имплантация) приобрело за последние годы очень важное значение не только как способ создания микроэлектронных устройств современной твердотельной электроники, но и как мощный универсальный метод экспериментальной физики, материаловедения. Исследован...
Gorde:
Egile nagusia: | |
---|---|
Formatua: | Книга |
Gaiak: | |
Sarrera elektronikoa: | Перейти к просмотру издания |
Etiketak: |
Etiketa erantsi
Etiketarik gabe, Izan zaitez lehena erregistro honi etiketa jartzen!
|