Материаловедение ионно-модифицированных диэлектриков: физические основы взаимодействия ускоренных ионов с многокомпонентными материалами учебное пособие
Ионно-лучевое модифицирование диэлектриков (ионная имплантация) приобрело за последние годы очень важное значение не только как способ создания микроэлектронных устройств современной твердотельной электроники, но и как мощный универсальный метод экспериментальной физики, материаловедения. Исследован...
Bewaard in:
Hoofdauteur: | |
---|---|
Formaat: | Книга |
Onderwerpen: | |
Online toegang: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|