Материаловедение ионно-модифицированных диэлектриков: физические основы взаимодействия ускоренных ионов с многокомпонентными материалами учебное пособие
Ионно-лучевое модифицирование диэлектриков (ионная имплантация) приобрело за последние годы очень важное значение не только как способ создания микроэлектронных устройств современной твердотельной электроники, но и как мощный универсальный метод экспериментальной физики, материаловедения. Исследован...
Sparad:
Huvudupphovsman: | |
---|---|
Materialtyp: | Книга |
Ämnen: | |
Länkar: | Перейти к просмотру издания |
Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|