Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок...
Sábháilte in:
Príomhchruthaitheoir: | Липатов, Г. И. (070) |
---|---|
Formáid: | Книга |
Ábhair: | |
Rochtain ar líne: | Перейти к просмотру издания |
Clibeanna: |
Cuir clib leis
Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!
|
Míreanna comhchosúla
-
Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
de réir: Липатов, Г. И. - Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов учебное пособие
-
Получение промышленной продукции методом химического осаждения учебное пособие
de réir: Миролюбов, В. Р. -
Теория статического и динамического осаждения и соосаждения ионов
de réir: Жукова Л. А. -
Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
de réir: Васильев В. Ю.
Foilsithe / Cruthaithe: (2024)