Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок...
में बचाया:
मुख्य लेखक: | Липатов, Г. И. (070) |
---|---|
स्वरूप: | Книга |
विषय: | |
ऑनलाइन पहुंच: | Перейти к просмотру издания |
टैग : |
टैग जोड़ें
कोई टैग नहीं, इस रिकॉर्ड को टैग करने वाले पहले व्यक्ति बनें!
|
समान संसाधन
-
Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
द्वारा: Липатов, Г. И. - Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов учебное пособие
-
Получение промышленной продукции методом химического осаждения учебное пособие
द्वारा: Миролюбов, В. Р. -
Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
द्वारा: Васильев В. Ю.
प्रकाशित: (2024) -
Теория статического и динамического осаждения и соосаждения ионов
द्वारा: Жукова Л. А.