Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок...
Zapisane w:
| 1. autor: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | Перейти к просмотру издания |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|