Материаловедение ионно-модифицированных диэлектриков: перспективные технологии электронных устройств на основе ионно-имплантированных полимеров учебное пособие
Ионно-лучевое модифицирование (ионная имплантация) приобрело за последние годы важное значение не только как мощный универсальный метод экспериментальной физики, материаловедения, но и как технология создания микроэлектронных устройств современной твердотельной электроники на кремнии, арсениде галли...
Shranjeno v:
| Glavni avtor: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Teme: | |
| Online dostop: | Перейти к просмотру издания |
| Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|