Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
Рассматриваются основные возможности различных методов и способов для получения тонких слоев карбида кремния на различных подложках для создания устройств экстремальной электроники. Основное внимание уделяется методам формирования микро- и наноразмерных слоев на основе карбида кремния с различной кр...
Збережено в:
| Формат: | Книга |
|---|---|
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | Перейти к просмотру издания |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|