Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль...
Guardat en:
Autor principal: | |
---|---|
Format: | Книга |
Matèries: | |
Accés en línia: | Перейти к просмотру издания |
Etiquetes: |
Afegir etiqueta
Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!
|
Descripció física: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-9729-0846-2 |