Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль...
Bewaard in:
Hoofdauteur: | Бодров, Е. Э. (070) |
---|---|
Formaat: | Книга |
Onderwerpen: | |
Online toegang: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|
Gelijkaardige items
-
Основы технологии электронной компонентной базы Учебное пособие
door: Бодров Е.Э - Аналоговые интегральные схемы
-
Микроэлектроника
door: Ефимов И. Е., et al. -
Микроэлектроника
door: Ефимов И. Е., et al. -
Интегральные микросхемы и их зарубежные аналоги
door: Нефедов А. В.