Основы технологии электронной компонентной базы учебное пособие
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль...
Sparad:
Huvudupphovsman: | Бодров, Е. Э. (070) |
---|---|
Materialtyp: | Книга |
Ämnen: | |
Länkar: | Перейти к просмотру издания |
Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|
Liknande verk
-
Основы технологии электронной компонентной базы Учебное пособие
av: Бодров Е.Э - Аналоговые интегральные схемы
-
Микроэлектроника
av: Ефимов И. Е., et al. -
Микроэлектроника
av: Ефимов И. Е., et al. -
Интегральные микросхемы и их зарубежные аналоги
av: Нефедов А. В.