Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники учебное пособие
Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлени...
Guardat en:
Format: | Книга |
---|---|
Matèries: | |
Accés en línia: | Перейти к просмотру издания |
Etiquetes: |
Afegir etiqueta
Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!
|
Descripció física: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-9729-1316-9 |