Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники учебное пособие
Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлени...
Gespeichert in:
Format: | Книга |
---|---|
Schlagworte: | |
Online Zugang: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Beschreibung: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-9729-1316-9 |