Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники учебное пособие
Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлени...
Saved in:
| Format: | Книга |
|---|---|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Physical Description: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-9729-1316-9 |