Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники учебное пособие
Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлени...
Сохранить в:
Формат: | Книга |
---|---|
Темы: | |
Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
Объем: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-9729-1316-9 |