Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники учебное пособие
Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлени...
Збережено в:
Формат: | Книга |
---|---|
Предмети: | |
Онлайн доступ: | Перейти к просмотру издания |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Фізичний опис: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-9729-1316-9 |