Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров...
Gardado en:
Autor Principal: | |
---|---|
Formato: | Книга |
Темы: | |
Acceso en liña: | Перейти к просмотру издания |
Метки: |
Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
|
Descrición Física: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-7882-3285-0 |