Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров...
Enregistré dans:
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Ajouter un tag
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|
