Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров...
Tallennettuna:
Päätekijä: | |
---|---|
Aineistotyyppi: | Книга |
Aiheet: | |
Linkit: | Перейти к просмотру издания |
Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|