Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров...
Shranjeno v:
Glavni avtor: | |
---|---|
Format: | Книга |
Teme: | |
Online dostop: | Перейти к просмотру издания |
Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|