Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем учебное пособие
Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное ис...
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | Перейти к просмотру издания |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|