Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кисл...
Сохранить в:
Hovedforfatter: | Берлин, Б. В. (070) |
---|---|
Format: | Книга |
Fag: | |
Online adgang: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
Lignende værker
-
Лабораторный практикум по курсу «Методы и подходы к модификации поверхности биосовместимых полимеров и композитов на их основе»
af: Лапуть, О. А. -
Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
af: Твердохлеб, П. Е. -
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
af: Васильев, В. Ю. - Гидрохимическое осаждение тонких пленок халькогенидов металлов практикум
-
Радиоматериалы и радиокомпоненты: методические указания к выполнению курсовой работы «Расчет тонкопленочных резисторов» для студентов специальности 11.05.01 «радиоэлектронные системы и комплексы» оч-ной формы обучения
Udgivet: (2024)