Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...

Descrizione completa

Dettagli Bibliografici

Natura:	Книга
Soggetti:	элионная технология наноэлектроника микроэлектроника неразрушающий метод гетерокомпозиция
Accesso online:	Перейти к просмотру издания
Tags:	Aggiungi Tag Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !