Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники учебное пособие
Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элеме...
Сохранить в:
Hovedforfatter: | Камлюк, В. С. (070) |
---|---|
Format: | Книга |
Fag: | |
Online adgang: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
Lignende værker
-
Мехатроника: основы, методы, применение учебное пособие
af: Подураев, Ю. В. -
Детали мехатронных модулей учебное пособие
af: Таугер, В. М. -
Современное технологическое оборудование для микроэлектроники пособие
af: Камлюк, В. С. -
Технологическое оборудование для микроэлектроники учебное пособие
af: Камлюк, В. С. -
Конструирование мехатронных модулей учебное пособие
af: Таугер, В. М.