Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники учебное пособие
Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элеме...
Enregistré dans:
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Ajouter un tag
Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!
|