Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники учебное пособие
Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элеме...
Bewaard in:
| Hoofdauteur: | |
|---|---|
| Formaat: | Книга |
| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|