Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники учебное пособие
Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элеме...
Sparad:
| Huvudupphovsman: | |
|---|---|
| Materialtyp: | Книга |
| Ämnen: | |
| Länkar: | Перейти к просмотру издания |
| Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|