Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники учебное пособие
Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элеме...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Книга |
| 主題: | |
| 在線閱讀: | Перейти к просмотру издания |
| 標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|