Технологическое оборудование для микроэлектроники учебное пособие
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонт...
Bewaard in:
| Hoofdauteur: | |
|---|---|
| Formaat: | Книга |
| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|
