コンテンツを見る

Технологическое оборудование для микроэлектроники учебное пособие

Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонт...

詳細記述

保存先:
書誌詳細
第一著者: Камлюк, В. С. (070)
フォーマット: Книга
主題:
オンライン・アクセス:Перейти к просмотру издания
タグ: タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!