Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей учебное пособие
Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографиче...
Збережено в:
Автор: | |
---|---|
Формат: | Книга |
Предмети: | |
Онлайн доступ: | Перейти к просмотру издания |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Фізичний опис: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-7996-1110-1 |