Технологические процессы в микро- и наноэлектронике учебное пособие
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологически...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02823nam0a2200373 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/86656 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/86656.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-9729-0337-5 | ||
| 205 | |a Технологические процессы в микро- и наноэлектронике |b 2026-10-01 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 01.10.2026 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20250903d2019 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Технологические процессы в микро- и наноэлектронике |e учебное пособие |f Ю. А. Родионов | |
| 700 | 1 | |a Родионов, |b Ю. А. |4 070 | |
| 330 | |a Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов. | ||
| 210 | |a Москва, Вологда |c Инфра-Инженерия |d 2019 | ||
| 610 | 1 | |a технологический процесс | |
| 610 | 1 | |a микроэлектроника | |
| 610 | 1 | |a наноэлектроника | |
| 610 | 1 | |a полупроводник | |
| 610 | 1 | |a твердое тело | |
| 610 | 1 | |a физическая химия | |
| 675 | |a 62 | ||
| 686 | |a 32.84 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 352 с. | ||