Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получени...
Wedi'i Gadw mewn:
| Prif Awdur: | |
|---|---|
| Fformat: | Книга |
| Pynciau: | |
| Mynediad Ar-lein: | Перейти к просмотру издания |
| Tagiau: |
Ychwanegu Tag
Dim Tagiau, Byddwch y cyntaf i dagio'r cofnod hwn!
|
| Disgrifiad Corfforoll: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-9275-2395-5 |