Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получени...
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Книга |
| Aiheet: | |
| Linkit: | Перейти к просмотру издания |
| Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|
| Ulkoasu: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-9275-2395-5 |