Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получени...
में बचाया:
| मुख्य लेखक: | |
|---|---|
| स्वरूप: | Книга |
| विषय: | |
| ऑनलाइन पहुंच: | Перейти к просмотру издания |
| टैग : |
टैग जोड़ें
कोई टैग नहीं, इस रिकॉर्ड को टैग करने वाले पहले व्यक्ति बनें!
|
| भौतिक वर्णन: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| आईएसबीएन: | 978-5-9275-2395-5 |