Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получени...
Zapisane w:
| 1. autor: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | Перейти к просмотру издания |
| Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|
| Opis fizyczny: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-9275-2395-5 |